본 발명은 기판 재활용 방법에 대한 것으로서, 본 발명의 일 실시형태에 따른 선택영역 성장법을 이용한 기판 재활용 방법은, 기판 상에 유전체 물질로 패턴을 형성하는 단계, 상기 패턴 이외의 영역에 희생층, 에피층 및 전극층을 순차적으로 형성하는 단계, 및 에칭액으로 상기 유전체 물질과 상기 희생층을 에칭하여 기판을 분리하는 단계를 포함한다. 본 발명인 선택영역 성장법을 이용한 기판 재활용 방법에 따르면, ELO 공정시에 기판표면을 에칭하는 에천트를 사용