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본 발명은 발전 설비의 수명을 평가하기 위하여 도입되는 기계적 또는 열적 하중으로 인한 발전 설비의 변형률을 효과적으로 측정하는 방법 및 구조물에 관한 것으로, 발전 설비를 대상으로 상기 발전 설비의 일부분인 국부 영역에 MEMS 공정을 이용한 마이크로 스케일의 패턴을 형성하여 상기 국부 영역이 갖는 발전 설비의 변형률을 측정하는 방법이 제공된다.