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지식재산권 거래

원자층 증착용 플라즈마 공급 장치, 플라즈마 공급 시스템, 원자층 증착장치 및 그 제어방법
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기관명
한국전력공사
기술유형
기타
권리
특허
등록일
2020.11.05
등록번호
20200019808
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